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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	硅单晶提拉生长中拉速稳定性研究显示文摘为解决硅单晶提拉生长过程中拉速不稳定、波动较大的问题,在分析晶体生长界面热量及质量传输的基础上,通过控制温度补偿速率来抑制拉速大幅波动。采取基于遗传算法优化隶属度函数的模糊控制策略,对温度补偿速率进行控制,调节加热功率,使炉内热环境处于适宜晶体生长的范围。实验结果表明,在提高系统控径精度的同时,拉速稳定性也有显著提高,大幅波动明显减少。	付永领张凯祁晓野	2009	人工晶体学报2009，38，6：	1

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