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		题名	作者	年代	出处	被引量
	1	磁控溅射和热氧化法制备ZnO纳米颗粒显示文摘利用射频磁控共溅射技术在Si(111)衬底上沉积金属锌/二氧化硅基质(Zn/SiO2)复合薄膜。在空气中600℃退火60min,从SiO2基质中析出的金属Zn被空气中O2氧化生成了ZnO纳米颗粒,并形成了SiO2多孔网络结构。用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)对样品的组成、结构、表面形貌及发光特性进行了分析。结果表明,生成的ZnO纳米颗粒为六角纤锌矿结构,呈近椭圆形,平均尺寸在65nm左右。在280nm光激发下,有较强的370nm近带边激子跃迁紫外光发射和峰位在460nm处较弱的蓝色发光。	石礼伟李玲薛成山	2004	微细加工技术2004，，3：	2

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