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| 1 | 基于频闪法的MEMS动静态测试系统显示文摘为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz。通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性。 | 王青玲 向东 何开华 吴娟 万淼 | 2007 | 光电工程2007，34，2： | 3 |
| 2 | RF MEMS在微波器件中的小型化应用显示文摘文章首先阐述了微电子机械系统(MEMS)技术的基本概念、工艺流程及发展概况;其次,介绍了RF MEMS技术在射频系统中的应用及RF MEMS器件在功耗、体积、质量、性能和成本上的优势;最后重点介绍了RF MEMS技术应用,包括RF MEMS开关、移相器、谐振器和滤波器等典型微波元器件,分析其结构特征、发展现状和相对于传统器件的性能优势,在此基础上展望RF MEMS技术应用前景。 | 刘俭成 杜蕊 | 2012 | 计算机与网络2012，38，13： | 2 |
| 3 | 生物微传感器系统技术的发展及应用显示文摘概述了BioMEMS生物微传感器系统的原理、特点、分类,分析了生物微传感器系统技术的发展状况.由于生物微传感器系统识别元件中的敏感材料含有生命物质,故具有体积小、选择性好、灵敏度高、反应速度快等优点,可广泛应用于医学、工业、农业、军事和环境监测等领域. | 王晓华 赵倩 | 2013 | 上海电力学院学报2013，29，5： | 0 |
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