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1掺钛类金刚石膜的微观结构研究显示文摘采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。林松盛 代明江 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生 2007真空科学与技术学报2007,27,5:12
2类金刚石涂层的研究进展及其应用显示文摘类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有良好的减摩、耐磨性能,已成为当前研究的热点。由于受基体材料的成分,以及DLC涂层材料与基体材料的性质不同的影响,制备的涂层内应力较大,与基体的结合力差。添加过渡层,掺杂第三元素和制备多层结构涂层是提高界面结合力与热稳定性的有效措施。介绍了类金刚石薄膜的性质、制备工艺以及在金属加工、汽车零部件、医疗器械、航空航天等领域的应用,展望了类金刚石涂层的应用前景与发展趋势。张而耕 陈强 2015粉末冶金工业2015,25,5:10
3掺钛类金刚石膜的制备及在手表外观件上的应用显示文摘为有效提高手表外观件表面的耐磨、耐蚀性能和装饰性能,采用阳极层流型气体离子源结合非平衡磁控溅射技术,制备了梯度过渡掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,并对其在手表外观件上的应用进行研究。结果表明:此方法获得了显微硬度2232 Hv,膜基结合力大于50 N,摩擦系数为0.15的综合性能优良Ti-DLC薄膜;在手表外观件上所沉积的膜层颜色呈亮黑色且均匀一致;手表外观件经镀膜后表面耐磨性达到10000 m以上,耐人工汗也超过行业要求,经实际佩带4年以上的手表外观也基本完好。林松盛 鲍贤勇 代明江 崔晓龙 侯惠君 胡芳 2011真空2011,48,1:4
4偏压对高功率脉冲磁控溅射DLC膜层结构及性能的影响显示文摘采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度R q由不施加偏压时的5.39 nm降低至偏压为-350V的0.97 nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp 3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250 V时,DLC膜中sp 3含量最高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为-250 V时达到最高值,与微观结构变化趋势相吻合.林松盛 高迪 苏一凡 许伟 郭朝乾 李洪 石倩 韦春贝 代明江 杨建成 2020材料研究与应用2020,14,1:4
5硬质薄膜的研制及其在模具上的应用显示文摘材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一,近年来,由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术的应用为解决这一问题提供了有效的途径,许多技术已实现工业化生产。本文综述了各种硬质薄膜的发展状况、性能及应用情况,并总结了广州有色金属研究院在这方面的研究开发工作。林凯生 李洪武 林松盛 侯惠君 朱霞高 代明江 2008模具制造2008,8,9:2
6类金刚石涂层与铝合金间的摩擦磨损行为研究显示文摘分别采用圆形石墨靶电弧技术和线性离子源物理气相沉积技术在高速钢基体表面制备DLC涂层,研究涂层与铝合金6061在干摩擦条件下的摩擦磨损行为.结果表明,用圆形石墨靶电弧和线性离子源技术制备的DLC涂层中s矿含量分别为68%和53%,与铝合金间的平均摩擦系数分别为0.1019和0.2911.DLC涂层的主要失效方式是涂层局部剥落,形成10-20肚m剥落状DLC颗粒.DLC涂层中sp3含量越高,其摩擦磨损寿命越长,铝合金粘附转移量越少.邓耀锋 梁献文 苏东艺 彭继华 2014材料研究与应用2014,8,1:1
7多弧离子镀技术及其在切削刀具涂层中的应用显示文摘主要介绍了多弧离子镀技术的工作原理、特点和研究进展,分析了多弧离子镀的主要工艺参数与涂层性能之间的关系,最后说明了多弧离子镀技术在切削刀具涂层中的应用。邱联昌 李金中 王浩胜 唐智华 2011中国钨业2011,26,5:0
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