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	题名	作者	年代	出处	被引量
1	线加速度计的现状与发展趋势综述显示文摘讨论了线加速度计的基本原理、特点和主要技术性能指标,介绍了国内外的研制情况,并讨论了线加速度计未来的发展趋势。	赵君辙邢馨婷杨中柳	2007	计测技术2007，27，5：	10
2	从专利视角浅析基于碳化硅材料的航空航天传感器技术发展显示文摘我国“十三五”规划中明确指出,把发展传感器技术、推动相关产业进步列为国家战略发展的重点对象;2017年,工业和信息化部发布的《智能传感器产业三年行动指南(2017-2019年)》中也提出,要加快研发基于微电机(MEMS)工艺的新型智能传感器设计技术。目前多种不同类型的传感器大量应用于国内外航天飞行器的各个系统中[1]。	梁雪峰	2021	新材料产业2021，，3：	2
3	微光机电系统制造工艺综述显示文摘重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其发展进行了展望。	周易纪引虎	2008	航空精密制造技术2008，44，2：	0

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