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150nm分辨力极端紫外光刻物镜光学性能研究显示文摘极端紫外光刻 (EUVL)作为实现 10 0~ 32nm特征尺寸微细加工的优选技术 ,其光刻物镜的光学性能是实现高分辨图形制作的关键。利用光学设计软件CODEV对 6枚非球面反射镜构成的光刻物镜设计和光学性能分析 ,其分辨力可以实现 5 0nm ,曝光面积为 2 6mm× 1mm。结果表明 ,光学性能对曝光场点的依赖关系。在全曝光场中进行了光学性能分析 ,其最大畸变为 3.77nm ,最大波面差为 0 .0 31λ(均方根值 ) 。李艳秋 2004光学学报2004,24,7:15
2自身免疫性胰腺炎的诊治分析显示文摘探讨自身免疫性胰腺炎(autoimmune pancreatitis,AIP)的诊断及疗效。方法回顾性分析2007年1月至2010年2月在我院经临床证实的AIP患者4例的临床资料。结果:4例患者经类固醇激素、熊去氧胆酸胶囊及中药治疗症状缓解。结论:AIP是可以通过临床表现及结合化验室检查、影像学表现能够明确诊断的特殊类型的慢性胰腺炎,并且可以通过类固醇、熊去氧胆酸及中药药物治疗可以达到缓解或治愈的一种疾病。段红霞 栾丽 赵智宏 2011兵团医学2011,,4:0
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